1.장비명 : Scanning Probe Micorscope                원자현미경 2.모   델 : SPM-9500J3 3.제조사 : Shimadzu 4.측정방식 : Contact, Noncontact                  (phase imaging, MFM, viscoelasticity measurement,                    current imaging system) 5.Sample loading size : max. Φ24mmX8mm 6.Scanning range : max. 30㎛X30㎛X5㎛ (XㆍYㆍZ) 7.용도 : 반도체, 하드 디스크, 천연 광물, 폴리머 표면등의 미세조직 관찰 및             roughness 분석 * SPM(AFM)원자현미경 설치완료하여 사용(예약)가능합니다. * 2004년 5월 한달동안 test 기간으로 장비사용시 사용료를   discount 합니다. * 중소기업의 많은 이용바랍니다.